|
|
Большая Советская Энциклопедия (цитаты)
|
|
|
|
|
Фотолитография | Фотолитография (далее Ф) 1) специальный фотография, процесс на фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью. Цель Ф – создать в слое фоторезиста "окна" заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной пленкой. Такие "окна" образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисленных применений Ф служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядоченно расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная технология. 2) Фотомеханический способ изготовления литографской печатной формы (см. Литография), при котором изображение с негатива копируется на светочувствительный слой, покрывающий поверхность литографского камня (или металла). После проявления копии ее подвергают обработке, в результате которой поверхность разделяется на печатающие и пробельные элементы. В настоящее время (2-я половина 20 в.) Ф применяется чрезвычайно редко. 3) Оттиск с литографской печатной формы, изготовленной по способу Ф
|
Для поиска, наберите искомое слово (или его часть) в поле поиска
|
|
 |
 |
 |
|
|
|
Новости 21.11.2024 11:54:06
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
